段文睿

 

E-mail：duanwr@bistu.edu.cn

 

教育背景

• 2001.09-2005.07 北京航空航天大学机械学院机械设计系（机械设计专业），工学学士

• 2005.09-2008.03 北京航空航天大学机械学院航空宇航制造工程系（CAD专业），工学硕士

• 2010.09-2015.03 清华大学机械学院机械系（机械工程专业），工学博士

工作履历

• 2015.03 – 至今 北京信息科技大学测控系，讲师

• 2015.09 – 2017.09 清华大学精仪系系，博士后

教学工作

精密机械设计课程（本科生）

 

研究领域

机械设计：刻蚀机多学科优化设计

 

研究概况

根据IC制造装备设计领域的重大技术需求，以含工艺腔室的刻蚀机为研究载体，开展复杂机械系统及其关键零部件的多场耦合建模与仿真优化设计的理论与应用技术研究。作为主要完成人或技术骨干，参与863、科技部02专项、重大仪器专项3项。发表论文12篇，申请发明专利3项。